ASML 在其官网的系念品商城中推出了一款私有的乐高模子套装,这是基于其 High NA EUV 光刻系统 TWINSCAN EXE:5000 的居品。这款模子由 ASML 的职工 Rick Lenssen 策画开云体育(中国)官方网站,他同期亦然别称乐高疼爱者。该模子精准复刻了 TWINSCAN EXE:5000 的外不雅,包含 851 个零件,尺寸为宽 352mm、高 99mm、深 64mm,售价为 227.95 好意思元,约合东谈主民币 1653 元。
High NA EUV 光刻机是群众首款使用 0.55NA 数值孔径的光刻机,其永诀率可达 8nm,成像对比度比之前的 NXE 系列 0.33NA EUV 系统提升了 40%,粗略撑抓 2nm 逻辑节点图案化,其单价高达 3.5 亿欧元。Rick Lenssen 此前曾用 2.5 年的本事用乐高积木复现了 ASML 的费尔德霍芬主园区开云体育(中国)官方网站,况兼他也曾推出过多款 ASML 主题的乐高套装居品。
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